В оборудовании для производства полупроводников необходимы высокопроизводительные керамические компоненты. В частности, карбидокремниевая керамика является важным компонентом ключевого оборудования, такого как травильные машины, литографические машины, машины ионной имплантации и т. д. Например, присоски для шлифовки и полировки, присоски для фотолитографии, инспекционные присоски, процессы травления и движущиеся платформы имеют наличие карбидокремниевой керамики. Эти керамические компоненты из карбида кремния обладают хорошей структурной стабильностью, термической стабильностью, износостойкостью, коррозионной стойкостью и высокой точностью размеров. Порошок карбида кремния, как основное сырье для производства карбидокремниевой керамики, также должен иметь хорошие и стабильные свойства. Среди них типичным применением является черный порошок SiC 800# для пористых керамических присосок из карбида кремния.