Мелкий порошок SiC для вакуумного зажимного приспособления из пористой керамики SiC
Пористая керамика SiC имеет отличные преимущества перед другими видами керамики. Такие как высокая прочность, отличная коррозионная стойкость, высокая термостойкость, высокая теплопроводность, низкий коэффициент теплового расширения, хорошая стойкость к тепловому удару. Поэтому это идеальная керамика для вакуумных патронов в полупроводниковой промышленности для склеивания, резки, монтажа ленты, полировки и т. д. Мелкий порошок SiC является просто сырьем для пористой керамики SiC .
Преимущества тонкого порошка черного карбида кремния для вакуумных патронов из пористой керамики SiC:
1. Износостойкость и высокая термостойкость. Он может удовлетворить потребности в длительной непрерывной работе патрона.
2. Низкая скорость теплового расширения, предотвращающая отказы, вызванные объемной деформацией.
3. Высокая коррозионная стойкость. Тонкий порошок карбида кремния не реагирует с адсорбционным материалом в условиях высоких температур.
4. Высокая химическая стабильность, в вакуумной среде не образуется едкий газ или короткое замыкание.
5. Размер частиц микропорошка карбида кремния контролируется. Он подходит для производства сверхтонких вакуумных патронов из карбида кремния.
6. После химической очистки и промывки водой содержание и содержание сверхтонкого порошка черного карбида кремния очень низкие.
