Зеленый SiC 5 микрон для полировки подложки из нитрида алюминия
При рассмотрении шлифования твердых материалов зеленый карбид кремния должен быть в списке альтернативных материалов. Керамика из нитрида алюминия — это новый тип керамики с высокой теплопроводностью, стойкостью к тепловому удару, механической прочностью и прочностью на изгиб. Ее твердость может достигать 12 ГПа, а твердость по шкале Мооса составляет 7-8. Зеленый карбид кремния обычно подходит для шлифования таких материалов, как нефрит, хрусталь, боросиликатное стекло, кремниевые пластины, оптическое стекло и т. д., с твердостью по шкале Мооса 6,5-7. Это показывает, что использование зеленого SiC 5 микрон для полировки керамических подложек из нитрида алюминия (ANI) и керамических компонентов также может обеспечить эффективное шлифование.
Шлифовальная способность зеленого карбида кремния лишь немного ниже, чем у сверхтвердых материалов. Он одновременно острый и обладает хорошими самозатачивающимися свойствами. Он может быстро удалять заусенцы или неровности на поверхности керамики из нитрида алюминия, достигая желаемой гладкости. В реальном производстве зеленые порошки SiC, такие как 5 микрон, 7 микрон, 10 микрон, хорошо подходят для этой обработки.
