Зеленый порошок карбида кремния для фотоэлектрической полировки пластин
Зеленый порошок карбида кремния 2500#, 3000#, 4000# и 6000# являются основными мелющими телами для фотоэлектрического шлифования пластин . В полупроводниковой промышленности зеленый порошок карбида кремния размером от 2000 до 2500 меш когда-то использовался в качестве основного материала для резки кремниевых пластин проволокой. С развитием технологии резки проволокой и массовым производством синтетического алмазного порошка алмазный порошок постепенно заменяет зеленый порошок карбида кремния. Однако в фотоэлектрической промышленности зеленый порошок карбида кремния по-прежнему играет важную роль в области шлифования.
Фотоэлектрический кристалл является важным компонентом фототранзистора, который преобразует световую энергию в электрическую для достижения преобразования тока и выхода. Также возможно обнаруживать оптические импульсы и преобразовывать их в сигналы цифровых пэдов. Фотоэлектрические пластины обычно представляют собой синтетические кристаллические материалы с фотоэлектрическими свойствами, а основные материалы включают кристаллы ниобата лития (LiNbO3), кристаллы танталата лития (LiTaO3), кристаллы диоксида кремния (SiO2), кристаллы диоксида титана (TiO2), кристаллы оксида теллура (TeO2) , кристаллы титаната бария титана (BaTiO3) и кристаллы метабората бария BBO (β-BaB2O4) и так далее.
Обработка и шлифовка фотоэлектрических кристаллов являются ключевыми процессами в производстве фотоэлектрических компонентов. Разумная шероховатость поверхности кристалла повлияет на работу компонентов. Твердость фотоэлектрических кристаллов, упомянутых выше, составляет 7-7,5 (твердость по Моосу) или 4-6 (твердость по Моосу), а зеленый карбид кремния может обеспечить эффективное измельчение этих кристаллов. Зеленый карбид кремния имеет твердость по Виккерсу 3280-3400 кг/мм2 или микротвердость 33 ГПа. Он стабилен при высоких температурах и большинстве химических сред и является основным абразивным материалом для шлифовки фотоэлектрических кристаллов.
Однако не весь зеленый порошок карбида кремния на рынке может соответствовать требованиям фотоэлектрического шлифования кристаллов. Это происходит из-за однородности и формы ультрамелких частиц. Во-первых, размер частиц зеленого порошка карбида кремния велик. Крупные частицы шлифовального порошка царапают поверхность кристалла и вызывают появление царапин. Мелкие частицы шлифовального порошка приведут к снижению эффективности измельчения. Во-вторых, морфология частиц зеленого порошка карбида кремния. Острые углы и игольчатые частицы шлифовального порошка не способствуют шлифованию гладкой поверхности. С другой стороны, относительно округлые частицы выгодны для измельчения.
В ответ на эти две ситуации производители зеленого порошка карбида кремния могут контролировать свои процессы, улучшая их. Во-первых, зеленый шлифовальный порошок из карбида кремния с переливом может уменьшить долю мелкого порошка по сравнению с крупными частицами. Он также может контролировать диапазон размеров частиц шлифовального порошка в узком диапазоне. Это обеспечивает однородность частиц. Во-вторых, с помощью разумных физических методов обработки можно изменить форму частиц шлифпорошка. От раннего процесса измельчения до формирования частиц задней дорожки был осуществлен строгий контроль, что значительно уменьшило долю острых, столбчатых и игольчатых частиц.
