С падением рынка резки поликристаллической и монокристаллической кремниевой пластины для резки проволоки внутренний рынок резки порошковой проволокой из зеленого карбида кремния чрезвычайно сокращается. Но в области резки полупроводниковой проволоки, особенно резки по внутреннему кругу монокристаллического кремния, потому что жидкая резка линии резки карбида кремния может защитить гладкость поверхности пластины, которая будет разрезана лучше, чем сплошная резка линии алмазной резки, так зеленый порошок карбида кремния http://greensiliconcarbide.com Всегда находите свое место в полупроводниковой промышленности. Поскольку полупроводниковый порошок карбида кремния, вырезанный из проволоки, предъявляет много различных требований к характеристикам материала, чем традиционные абразивные материалы, предъявляются более высокие требования к качеству.
- Стандарт размера частиц зеленого карбида кремния
Поскольку отечественное производство порошка карбида кремния для резки полупроводниковой проволоки началось поздно, отечественные производители полупроводников первоначально импортировали продукцию известных производителей в развитых странах, таких как ESK в Германии и FUJIMI в Японии. Поэтому некоторые отечественные производители порошка карбида кремния в основном применяют европейские стандарты (FEPA), японские стандарты (JlS) и американские стандарты (ANSI).
Однако, поскольку большая часть отечественного полупроводникового порошка карбида кремния, вырезанного из проволоки, экспортируется в Японию, японский стандарт широко применяется в стране. Самая большая разница между отечественными и зарубежными стандартами заключается в том, что индекс размера частиц, принятый за границей, увеличил D0 (максимальный размер частиц), а внутренний стандарт — нет. На данном этапе отечественный стандарт все еще остается в основном стандартом обычных абразивов и абразивов.
Полупроводниковая промышленность требует, чтобы гранулометрический состав зеленого порошка карбида кремния был максимально сконцентрирован для удовлетворения требований к точности резки проволокой.
- Химический состав зеленого карбида кремния
Химический состав влияет на кристаллическую форму и эффект использования порошка карбида кремния. Чем выше химический состав, тем лучше общие характеристики.
- Форма частиц зеленого карбида кремния
Форма частиц микропорошка для полупроводников, вырезанного из проволоки, будет иметь значительное влияние на эффект обработки образца. Вообще говоря, в отличие от шлифовального механизма, используемого в процессе шлифования, порошок карбида кремния, используемый для резки полупроводниковой проволокой, должен иметь определенную округлость, а частицы должны иметь острые края и углы.
- Насыпная плотность зеленого карбида кремния
Объемная плотность — еще один важный показатель порошка карбида кремния. Когда размер частиц микропорошка карборунда находится на микронном уровне, его площадь поверхности, поверхностная энергия и энергия связи поверхности быстро увеличиваются. Основными факторами, влияющими на насыпную плотность микропорошка, являются удельная площадь поверхности, поверхностная энергия, энергия связи поверхности и сила взаимодействия между частицами.
- Чистота зеленого карбида кремния
Поскольку к чипу предъявляются высокие требования к чистоте поверхности, если поверхность чипа загрязнена примесями, продукт может быть утилизирован. При резке или полировке стружки легко вносить загрязнения, поэтому чистота поверхности порошка для резки полупроводниковой проволоки относительно высока. Зеленый порошок карбида кремния будет производить часть углерода в процессе плавки. В более позднем процессе грохочения, хотя неочищенный карбид кремния протравливается, после дальнейшего измельчения в блоке карбида кремния все еще остается часть свободного углерода. Процесс производства зеленого порошка карбида кремния заключается в травлении после шлифования, избегая остаточного свободного углерода в ткани, а чистота выше (она может достигать более 99% SiC).
- Содержание кислотных и щелочных остатков в порошке зеленого карбида кремния
Общий процесс производства микронизированного порошка — это процесс травления. В течение всего процесса, если промывка водой не будет достаточно тщательной, на поверхности частиц микропорошка останутся остатки кислоты и примеси. Эти остатки могут быть не очевидны на стадии микропорошка, но если они будут превращены в продукт, они покажут различия в характеристиках, которые повлияют на продукт. качество.