Новый метод полировки RB-SiC
Недавно исследовательская группа Лаборатории прецизионного оптического производственного и испытательного центра Шанхайского института оптики и точного машиностроения Китайской академии наук добилась прогресса в исследованиях по повышению эффективности полировки с помощью фемтосекундной лазерной модификации поверхности карбида кремния.